藉由一种”靴带”自成模板方法延展自动组装结构至增加之面向

主权项

一种制造包含奈米尺度微结构之膜的方法，其包含：在一基板中之一渠沟内形成包含自动组装嵌段共聚物之第一膜，该渠沟具有一底部、侧壁、一宽度及一长度；使该第一膜退火以形成包含与该等侧壁配准且沿该渠沟之该长度延伸之自动组装聚合物域的一基础层；使该基础层之聚合物域交联；在该交联基础层上形成包含自动组装嵌段共聚物之第二膜；使该第二膜退火以使得该膜自动组装以形成与该基础层之相应聚合物域配准之聚合物域；及使该第二膜之聚合物域交联。