用于晶圆切割之轮刀装置

主权项

一种用于晶圆切割之轮刀装置，其系包括：一装载平台，用以承载待切割物；以及，一轮刀机构，包含一轮刀及一支撑架组，其中该支撑架组系架设于该装载平台上方，且该轮刀系装设于该支撑架组，并邻近于该装载平台之上方，并且该轮刀机构可带动该轮刀相对于该装载平台移动。