发明名称 研磨抛光轮结构
摘要
申请公布号 TWM415020 申请公布日期 2011.11.01
申请号 TW100208849 申请日期 2011.05.18
申请人 益大貿易股份有限公司 臺南市永康區正南一街173號2樓 发明人 林顺忠
分类号 B24B37/04;H01L21/304 主分类号 B24B37/04
代理机构 代理人 黄金树 台南市安平区永华十一街17巷25号6楼之1
主权项 一种研磨抛光轮结构,包含:一主轴,系安装于研磨机台之驱动轴上,具有一下端面,该下端面凸伸一出水头;一外盘,具有一上端面与一容置空间,该上端面设有一第一轴孔可与主轴之下端面与出水头结合,该容置空间外围环绕之底部设有第一研磨件,且该第一研磨件上设有复数个径向延伸之沟槽;一内盘,系活动设置于外盘之容置空间内,具有一上盘体与一下端部,并于中央设有一凹部,该上盘体设有一第二轴孔,可对应第一轴孔与出水头结合,再于下端部上设有第二研磨件,且该第二研磨件上设置有复数道排水槽。
地址 台南市永康区正南一街173号2楼
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