自使用过之浆料回收有用成分之回收装置

主权项

一种自使用过之浆料回收有用成分之回收装置，将从矽晶圆的加工程序中排出的使用过之浆料供给至以相对低的离心力运转的初级离心分离机以及连接在该初级离心分离机下游侧的以相对高的离心力运转的次级离心分离机，从该使用过之浆料中回收有用成分，其特征在于，该回收装置构成为：对于一台初级离心分离机并联连接多台次级离心分离机，将由该一台初级离心分离机处理并分离的液态成分分配给该多台次级离心分离机进行处理。