| 发明名称 |
用于１９３-ｎｍ之三层抗蚀剂方法中的热可硬化中间层 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI351419 |
申请公布日期 |
2011.11.01 |
| 申请号 |
TW093104566 |
申请日期 |
2004.02.24 |
| 申请人 |
布魯爾科技公司 美國 |
发明人 |
吉姆Ｄ 密朵尔;玛莉亚 纳加特奇亚;杜格 侯摩斯 |
| 分类号 |
C08L43/00 |
主分类号 |
C08L43/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼 |
| 主权项 |
一种使用于微影程序中之组成物，其中该组成物包括酸以及溶解于或分散于溶剂系统中的成分，该成分为选自由聚合物，化合物及其混合物所组成之族群中，其改良为该聚合物包括含有具有醇官能性之多立面低聚合倍半矽氧烷之重复单体，且该化合物包括具有醇官能性之多立面低聚合倍半矽氧烷，该组成物进一步包括交联剂，其中该组成物系非光可成像的。 |
| 地址 |
美国 |
