退火装置

主权项

一种退火装置，其包含：一退火腔室，其中容纳待处理之板形构件；一支撑框架，其用于水平对准且将该等板形构件以一多级方式垂直堆叠于该退火腔室中；及一热空气单元，其用于将热空气供应至该支撑框架，该支撑框架在一垂直方向上分割为复数个部分，以使用该热空气处理该等板形构件。