| 主权项 |
一种设计一交替相移光罩(alternating phase shifting mask)的方法，该交替相移光罩供投影一积体电路设计之一影像，该方法包含：提供上色(coloring)规则，供指定(assigning)相(phases)给一交替相移光罩之相移形(phase shifting shapes)；提供一第一元(cell)，其包含至少可指定一第一相之一相移形，以及包含相反于该第一相之可指定一第二相之至少一相移形，该相移形之至少之一邻近(adjacent to)该第一元之一边缘(edge)，其中该第一元中所有相移形系根据该上色规则为二元(binary)可上色；提供一第二元，其包含至少可指定一第一相之一相移形，以及包含相反于该第一相之可指定一第二相之至少一相移形，该相移形之至少之一邻近该第二元之一边缘，其中该第二元中所有相移形系根据该上色规则为二元可上色；沿该第二元之一边缘并列(juxtaposing)该第一元之一边缘，使得分别邻近该第一与第二元边缘之该相移形彼此邻近；以及创造一元阵列(cell array)，包含该第一与第二元排列使得该阵列根据该上色规则可上色，同时维持(preserving)该第一与第二元之二元可上色性。 |
