NICKEL OXIDE FILM FOR BOLOMETER USE AND METHOD THEREOF, INFRARED DETECTOR USING NICKEL OXIDE FILM

摘要

본 발명에 따른 볼로미터용 니켈 산화막은, -3%/C이상의 TCR과 낮은 수준의 노이즈(noise)값, 안정적이고 재현성있는 특성을 가진다. 또한, 볼로미터용 니켈 산화막을 이용한 적외선 감지소자의 제작에 적용될 수 있다.