发明名称 SERVER DEVICE AND PROGRAM
摘要 <p>종래의 서버 장치는 서브 레시피에 대응한 선택 정보를 선택적으로 출력할 수 없다고 하는 과제가 있었다. 제조 장치(11)에서 소정의 레시피를 실행한 경우의 측정치와 시각을 나타내는 시각 정보를 갖는 정보인 측정 정보를 복수 저장할 수 있는 측정 정보 저장부(1201)와, 측정 정보의 출력 지시를 받아들이는 지시 접수부(1205)와, 출력 지시에 의해 지정된 측정 정보를 측정 정보 저장부로부터 취득하는 측정 정보 취득부와, 취득한 측정 정보를 이용한 출력 정보를 구성하는 출력 정보 구성부(1206)와, 출력 정보 구성부(1206)가 구성한 출력 정보를 출력하는 출력부(1207)를 구비하고, 출력 지시는, 레시피에서 복수 회 실행되는 서브 레시피 중, 하나 이상의 원하는 회(回)에 실행되는 서브 레시피를 지정하는 지시를 갖고, 측정 정보 취득부(1203)가, 출력 지시에 의해 지정된 서브 레시피에 대응하는 측정 정보를 취득하도록 했다.</p>
申请公布号 KR101078664(B1) 申请公布日期 2011.11.01
申请号 KR20097002848 申请日期 2007.07.09
申请人 发明人
分类号 G06F11/00;G06F13/00;G06F15/16;H01L21/02 主分类号 G06F11/00
代理机构 代理人
主权项
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