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<p>프로브 카드를 이용하여 웨이퍼상의 IC 칩의 전기적 특성을 조사하는 프로브 장치 본체를 복수대 구비한 프로브 장치에 있어서, 상기 프로브 장치의 소형화를 도모 한다. 웨이퍼의 검사를 실행하는 프로브 장치 본체와 복수의 웨이퍼가 수납된 캐리어의 사이에 있어서 웨이퍼의 수수를 실행하는 로더부에, 웨이퍼상의 피검사 칩의 배열을 촬상하는 상부 카메라, 프로브 침을 촬상하는 하부 카메라 및 웨이퍼를 수평 방향으로 이동시킬 수 있는 X-Y-θ스테이지 및 웨이퍼를 높이 방향으로 이동시킬 수 있는 제 2 로더 기구를 마련하여, 이 로더부상에 있어서 웨이퍼의 위치 조정인 파인 얼라인먼트를 실행한다.</p> |
