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发明名称 BUFFER DEVICE, SEMICONDUCTOR PROCESS SYSTEM HAVING THE SAME, AND WAFER TEMPORARY STORING METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20110118308(A) 申请公布日期 2011.10.31
申请号 KR20100037823 申请日期 2010.04.23
申请人 ZEUS CO., LTD. 发明人 CHOI, YONG JUNG;KWON, SANG KEUK;YOO, CHUN WOO;YANG, JEONG SOON;GONG, HYUNG CHUL
分类号 H01L21/677;B65G47/69;B65G49/06 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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