| 摘要 |
<p>본 발명은 초고순도 비활성가스 제조용 흡착제에 관한 것으로서 활성탄, 알루미나, 합성제올라이트, 천연제올라이트, 규산나트륨, 메타규산나트륨, 알루민산나트륨, 지르코니아, 티타니아, 활석, 실리카, 무기산화물계 층상화합물 및 이들의 혼합물 고상담체에 일정량의 니켈을 담지하고 알칼리금속 혹은 알칼리토금속 중에서 선택된 1종 이상의 화합물을 추가로 사용하고 흡착제 제조 시 공침제를 사용함으로써 고상담체에 주 활성 성분이 고분산될 수 있도록 하여, 비활성가스에 포함된 미량의 불순물 특히 O, CO, CO, HO 등에 대한 흡착 성능을 종래의 흡착제에 비해 월등히 개선시키는 것을 목적으로 한다.</p> |
