发明名称 THERMAL RADIATION HEATING TYPE LINEAR EFFUSION CELL
摘要
申请公布号 KR20110118537(A) 申请公布日期 2011.10.31
申请号 KR20100041358 申请日期 2010.05.03
申请人 ALPHA PLUS CO., LTD. 发明人 HWANG, DO WEON;UM, KI SEOK;JUNG, DA WOON;KWON, NYEONG JUN;JUNG, YE SEUL;PARK, SUNG DONG
分类号 C23C14/24;C23C14/26 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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