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发明名称 A Wet N2 Supply Device
摘要 <p>본 발명은 슬러리용 습공기 발생장치에 관한 것으로서, 초순수가 저장되고, 기체의 출입이 가능한 유입구과 배출구를 구비한 저장용기와; 상기 저장용기에 설치되고, 상기 저장용기에 저장된 초순수를 가진하여 무화시키는 초음파 발생기를 포함한다.</p>
申请公布号 KR101078331(B1) 申请公布日期 2011.10.31
申请号 KR20090112115 申请日期 2009.11.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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