| 摘要 |
<p>본 발명은 진공 감압 건조 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 기판을 지지할 수 있는 지지핀이 구비된 고정 바디와, 고정 바디와 결합하여 내부에 진공 건조실을 형성하는 이동 바디와, 진공 건조실에 형성된 배기 포트를 통하여 진공 건조실을 감압시키는 진공 펌프를 포함하여 구성되며, 이동 바디는 기판을 거치한 상태로 이동하여 고정 바디와 결합함과 아울러 기판을 지지핀에 전달함으로써, 지지핀의 이동을 위한 별도의 구동 수단이 불필요하게 되어 진공 감압 건조 장치의 구성이 간단해지고, 별도로 지지핀을 이동하는 공정을 생략할 수 있어 공정을 간소화시키고 비용의 낭비를 방지하고 효율성을 제고시킬 수 있다.</p> |
