发明名称 CLEANING MEMBER AND CLEANING METHOD
摘要 <p>본 발명은 10% 변형시 인장응력이 0.3 내지 3,000N/mm인 클리닝(cleaning)층을 포함하는 클리닝 시트, 또는 반송 부재의 적어도 한 면에 10% 변형시 인장응력이 0.3 내지 3,000N/mm인 클리닝층을 갖는 클리닝 기능을 갖는 반송 부재, 특히 상기 클리닝층이 활성 에너지원에 의해 경화된 수지층 또는 내열성을 갖는 중합체 수지를 포함하는 상기 구성의 클리닝 시트 또는 클리닝 기능을 갖는 반송 부재를 제공한다.</p>
申请公布号 KR101078104(B1) 申请公布日期 2011.10.28
申请号 KR20100008489 申请日期 2010.01.29
申请人 发明人
分类号 B08B1/00;B08B7/00;B08B11/00;B08B13/00;B32B27/06;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/677 主分类号 B08B1/00
代理机构 代理人
主权项
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