| 摘要 |
<p>또한, 기판이 코팅되도록 코팅액이 수용된 한 쌍의 코팅욕조; 상기 코팅욕조를 선택적으로 승강시키는 승강수단; 상기 승강수단에 의해 상기 코팅욕조가 승강시 상기 코팅욕조에서 코팅액을 배출시키는 배출펌프와, 상기 코팅욕조에서 코팅액을 흡입하는 흡입펌프로 이루어지며, 상기 배출펌프와 흡입펌프의 속도를 조절하여 상기 코팅액의 배출량을 제어하여 코팅액의 배출 유속을 일정하게 조절하도록 상기 제어부의 제어를 받는 감속기로 이루어진 유량조절부; 상기 승강수단에 의하여 승강된 코팅욕조에 수용된 코팅액에 의하여 기판의 일면이 코팅되도록 상기 기판을 고정하는 다수 개의 지그; 상기 지그를 회전시키는 한 쌍의 회전체; 상기 코팅욕조에서 코팅된 상기 기판을 건조하는 한 쌍의 건조장치; 및 상기 회전체, 승강수단, 유량조절부 및 상기 건조장치를 제어하는 제어부;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.</p> |
