| 摘要 |
<p>본 발명은, 부상(浮上) 성능을 충분히 확보하고, 대형화된 기판 W를 반송(搬送)하는 경우에, 기판 W의 평탄도를 높게 유지하면서, 기판 W의 단부와 부상 유닛(37) 등과의 간섭을 회피할 수 있는 부상 반송 장치(1)를 제공하고자 한 것으로서, 본 발명의 부상 반송 장치(1)에서는, 기판 W를 반송 방향으로 반송하는 반송 유닛(11)이 지지 프레임(3)에 설치되는 동시에, 복수 개의 부상 유닛(37)이 반송 방향 및 반송 폭방향을 따라 지지 프레임(3)에 설치되어 있다. 각 부상 유닛(37)은, 상면에 공기를 분출하는 노즐(41)이 형성된 부상 유닛 본체(39)와, 부상 유닛 본체(39)의 하면 중앙에 설치되고, 또한 내부가 부상 유닛 본체(39)의 내부와 연통되는 부상 유닛 다리(43)를 구비하고 있다. 여기서, 부상 유닛 다리(43)의 반송 방향의 최대 외형 치수가, 부상 유닛 본체(39)의 반송 방향의 최대 외형 치수보다 작게 되어 있다.</p> |
