SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND METHOD FOR TRANSFERRING SUBSTRATE OF THE SAME
摘要
<p>기판 처리장치는 메인 적재부와 버퍼 적재부 및 이송 유닛을 포함한다. 메인 적재부와 버퍼 적재부는 각각 기판들을 수납하는 수납용기를 적재한다. 버퍼 적재부는 메인 적재부의 상부에 설치되고, 공정 모듈 내로 인입 및 인출 가능하다. 이에 따라, 기판 처리 장치는 풋 프린트의 증가 없이 수납용기를 적재할 수 있는 공간을 더 확보할 수 있고, 기판 투입을 대기하는 설비 유휴 시간을 감소시키며, 생산성을 향상시킬 수 있다.</p>
