Drehratensensor-Anordnung und Verfahren zum Betrieb einer Drehratensensor-Anordnung

摘要

Eine Drehratensensor-Anordnung (100) umfasst eine mikro-elektronisch mechanische Drehratensensor-Einrichtung (110) und einen piezoelektrischen Aktuator (131), der mit der Drehratensensor-Einrichtung (110) mechanisch verbunden ist. Eine Regelschaltung (140) erfasst eine durch Störeinflüsse bedingte Auslenkung der Drehratensensor-Einrichtung (110) und steuert den piezoelektrischen Aktuator (131) derart, dass der piezoelektrischen Aktuator (131) der störungsbedingten Auslenkung der Drehratensensor-Einrichtung (110) entgegenwirkt. Der piezoelektrische Aktuator kann ausschließlich mit der Drehratensensor-Einrichtung (110) verbunden sein und sich an seiner eigenen Masse abstützen.