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发明名称 HANDLING ROBOT AND SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING APPARATUS COMPRISING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20110117500(A) 申请公布日期 2011.10.27
申请号 KR20100036995 申请日期 2010.04.21
申请人 GANGWON TECHNOPARK 发明人 PARK, CHEOL HWA;AHN, KI WON
分类号 H01L21/677 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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