Method for Manufacturing Top and Bottom Electrodes Type Micro Pressure Sensor
摘要
<p>이를 해결하기 위해, 본 발명은 얇은 금속전극 위에 먼저 전기활성고분자 복합체인 센서감응물질을 패터닝하여 캔틸레버 형태의 구조로 하고, 외부로부터 인가되는 외부압력의 방향과 센서감응물질에 의한 감응방향이 일치하도록 상기 금속전극을 하부의 금속전극에 대향하는 상태로 접합하는 간단한 과정을 통해 미세 압력센서를 제조한다.</p>
