发明名称 SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20110117296(A) 申请公布日期 2011.10.27
申请号 KR20100036673 申请日期 2010.04.21
申请人 JUSUNG ENGINEERING CO., LTD. 发明人 CHOI, SUN HONG;LEE, TAE WAN;BAE, SUNG ROK;KANG, DONG YOUNG;LEE, JI HUN
分类号 H01L21/683;H01L21/205 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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