A DEVICE FOR MODULATING A LASER

摘要

본 발명에 의할 경우, 플라즈마 거울의 위치를 조절하여 조사되는 레이저의 집속도를 연속적으로 조절하는 것이 가능한 바, 최적의 집속도에서 최적의 상태로 레이저를 변조할 수 있다. 또한, 플라즈마 거울의 위치를 미세하게 조절하면서 레이저를 조사하는 것이 가능한 바, 하나의 플라즈마 거울을 이용하여 진행할 수 있는 공정 회수가 증가하는 바, 원가를 절감할 수 있는 효과를 갖는다.