发明名称 СПОСОБ ХИМИКО-ДИНАМИЧЕСКОЙ ПОЛИРОВКИ
摘要 Способ химико-динамической полировки, состоящий в помещении полируемой пластины в травящий химический раствор, отличающийся тем, что полируемую пластину прикрепляют к вращаемому держателю нерабочей стороной, опускают в химический раствор рабочей стороной и вращают с заданными скоростями относительно химического раствора по окружности и одновременно вокруг своей оси.
申请公布号 RU2010115514(A) 申请公布日期 2011.10.27
申请号 RU20100115514 申请日期 2010.04.19
申请人 Открытое акционерное общество "НИИ молекулярной электроники и Завод "Микрон" (RU) 发明人 Красников Геннадий Яковлевич (RU);Тадевосян Самвел Грантович (RU);Ранчин Сергей Олегович (RU);Сухоруков Дмитрий Олегович (RU)
分类号 B24B29/00 主分类号 B24B29/00
代理机构 代理人
主权项
地址