排气装置、排气系统和排气方法

摘要

本发明的目的在于一种用于具有能够通过盒门闭塞的输入/输出开口并且包含依照平行平面层叠的衬底晶片的传送盒的排气装置。该排气装置包括由密封的壁限定的容积空间，该容积空间至少被分成具有净化气体进气孔的上部和具有净化气体排气孔的下部，所述两个部分由密封的隔离板隔开；和一系列导向装置，该导向装置限定平行于这些晶片布置的开口并且与排气装置的容积空间相连以朝向传送盒引导净化气体。

主权项

一种用于具有能够由盒门闭塞的输入/输出开口并且包含基于平行平面层叠的衬底晶片的传送盒的排气装置，包括：容积空间，由密封的壁限定，所述容积空间被至少分成具有净化气体进气孔的上部和具有净化气体排气孔的下部，所述上部和下部由密封的隔离板隔开，和主壁，用来与传送盒的输入/输出开口协作，所述主壁大体上垂直于晶片的平面并且包括一系列开口，所述开口的中间平面平行于所述晶片的平面，所述开口将所述排气装置的容积空间连接到所述传送盒。