一种利用循环热对三氯氢硅进行精馏提纯的方法

摘要

本发明涉及的是一种利用循环热对三氯氢硅进行精馏提纯的方法，在三氯氢硅合成炉、精馏塔、氯化氢合成炉之间设置循环的液流通道，所述的液流通道包括依次连接的冷流槽、三氯氢硅合成炉夹套、氯化氢合成炉夹套、热流槽、精馏塔上的夹套，其中三氯氢硅合成炉夹套与氯化氢合成炉夹套并联在冷流槽与热流槽之间，通过控制系统的控制，利用液流通道中的传热介质将氯化氢合成炉及三氯氢硅合成炉中的热量移用于精馏塔中三氯氢硅的精馏提纯，实现系统热量的循环利用。此外，本发明还可以将热流槽中流出的热传热介质用于氮气的预热，实现了热量的循环利用，节约了生产成本。

主权项

一种利用循环热对三氯氢硅进行精馏提纯的方法，其特征在于：在三氯氢硅合成炉、精馏塔、氯化氢合成炉之间设置循环的液流通道，所述的液流通道包括依次连接的冷流槽、三氯氢硅合成炉夹套、氯化氢合成炉夹套、热流槽、精馏塔上的夹套，其中三氯氢硅合成炉夹套与氯化氢合成炉夹套并联在冷流槽与热流槽之间，通过控制系统的控制，利用液流通道中的传热介质将氯化氢合成炉及三氯氢硅合成炉中的热量移用于精馏塔中三氯氢硅的精馏提纯，实现系统热量的循环利用；所述的热流槽上部还设有溢流管道，所述的溢流管道连接一气液热交换器，所述的气液热交换器将溢流管道中传热介质的热量用于氮气的预热，氮气通过所述的气液热交换器预热后进入氮气加热装置；所述的热流槽上设有温度传感器及补液管道，当温度传感器检测到热流槽内液温超过预设温度时，系统控制补液管道向热流槽内补加冷传热介质调节液温，使其能够以80‑85℃的预设温度用于精馏塔塔釜的精馏，当液位达到最高值，传热介质从溢流管道排出；所述的三氯氢硅合成炉及氯化氢合成炉上设有温度传感器，冷流槽上设有调节阀，系统通过控制冷流槽上调节阀的开度，控制循环液流量，实现对三氯氢硅合成炉及氯化氢合成炉内温度的准确控制。