一种电子管排气台

摘要

本实用新型提供一种电子管排气台，包括机架，机械泵，扩散泵，冷阱，工作台，烘箱，传动机构，电气控制系统，其中，机械泵、扩散泵设置在机架的底部，所述机械泵通过真空管路依次连接扩散泵、冷阱、超高真空阀和排位，待排气的电子管安装在工作台的排位上；所属烘箱通过设在机架顶部的传动机构可顺机架的侧柱上下运动；每个排位的冷却空气管路上都设置有电控流量阀；烘箱电源，机械泵、扩散泵电源，灯丝电源，正一栅、负一栅电源，阳极电源，离子流电源，毛刺电源，超高真空阀，冷却空气的电控流量阀都通过控制线路与PLC电气控制系统连接。本实用新型采用的结构简单有效，提高了效率和产品的质量，节约能耗。

主权项

一种电子管排气台，包括机架(5)，机械泵(1)，扩散泵(9)，冷阱(8)，工作台(4)，烘箱(6)，传动机构(7)，电气控制系统(10)，其特征在于：两个机械泵(1)和两个扩散泵(9)设置在机架(5)的底部，所述机械泵(1)通过真空管路依次连接扩散泵(9)、冷阱(8)，所述冷阱(8)通过真空管路依次与四个超高真空阀(3)和四个排位连接，待排气的电子管(13)安装在排位上；所述排位设置在工作台(4)上；所属烘箱(6)设置在机架(1)的侧柱上，通过设在机架(1)顶部的传动机构(7)上下运动；每个排位的冷却空气管路上都设置有电控流量阀(2)；烘箱电源，机械泵、扩散泵电源，灯丝电源，正一栅、负一栅电源，阳极电源，离子流电源，毛刺电源，超高真空阀，冷却空气的电控流量阀都通过控制线路与电气控制系统连接(10)。