溅射钽环件用钽条的制备工艺

摘要

本发明涉及一种溅射钽环件用钽条的制备工艺，其工艺过程为：首先将钽料采用先打方再拍扁的方式锻造，随后在1000℃～1100℃温度条件下热处理，保温时间60min～120min，采用换向轧制发开坯轧制，在1000℃～1100℃温度条件下进行第二次热处理，保温时间60min～120min，采用单项单向轧制进行成品轧制，最后在1200℃～1400℃温度条件下进行第三次热处理，保温时间120min～180min ，校平下料即得。本发明可以将材料利用率提高6个百分点，由于简化了加工工艺，可以提高产品的加工效率，同时由于压力加工的工序要求易于操作、控制，工艺的一致性容易保证，产品的材料性能一致性也容易保证。

主权项

一种溅射钽环件用钽条的制备工艺，其特征在于工艺过程为：首先将钽料采用先打方再拍扁的方式锻造，锻造总加工率为65%～75%，随后在1000ºC～1100ºC 温度条件下热处理，保温时间60min～120min，采用换向轧制法开坯轧制，在1000ºC～1100ºC 温度条件下进行第二次热处理，保温时间60min～120min，采用单向轧制进行成品轧制，控制其总加工率为70%～80%，最后在1200ºC～1400ºC 温度条件下进行第三次热处理，保温时间120min～180min，校平下料即得。