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发明名称 Supporting apparatus having a plurality of magnets and method therefor
摘要
申请公布号 EP1367636(B1) 申请公布日期 2011.10.26
申请号 EP20030252944 申请日期 2003.05.12
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 KORENAGA, NOBUSHIGE
分类号 F16C32/04;H01L21/00;F16C29/00;F16C39/06;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/68;H02K41/02 主分类号 F16C32/04
代理机构 代理人
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