缺陷修复装置和缺陷修复方法

摘要

本发明提供一种可有效地修复缺陷的缺陷修复装置(1)，该缺陷修复装置(1)具备：固定所传送基板的基板载置台(3)；从垂直于由基板载置台(3)固定的基板的方向来看、沿与基板的传送方向不同的方向配置并对基板上散在的缺陷喷射液滴的多个液滴喷射单元(11)；安装多个液滴喷射单元(11)的喷头架单元(7)；以及使喷头架单元(7)沿着基板的传送方向相对等速移动的台架滑动机构(4)，各个液滴喷射单元(11)根据表示基板上散在的多个缺陷的位置的数据，在喷头架单元(7)沿基板的传送方向移动期间，沿与传送方向不同的方向相互独立移动。

主权项

一种缺陷修复装置，其特征在于，具备：固定所传送的基板的固定单元；从垂直于由所述固定单元所固定的基板的方向来看、沿与所述基板的传送方向不同的方向配置并对所述基板上散在的缺陷喷射液滴的多个液滴喷射单元；安装有所述多个液滴喷射单元的一列以上的台架；以及使所述台架沿着所述基板的传送方向相对等速移动的移动单元，各液滴喷射单元根据表示所述基板上散在的多个缺陷的位置的数据，在所述台架沿所述基板的传送方向相对移动期间，沿与所述传送方向不同的方向相互独立地移动，并且在所述台架上，设置有使各液滴喷射单元沿着垂直于所述传送方向的方向滑动的多个滑动机构，从垂直于所述基板的方向上来看，所述多个滑动机构配置为交错状，以使得所述各液滴喷射单元的可滑动区域的端部分别有一部分重叠。