一种倒置结构有机发光装置及其制作方法

摘要

本发明提供一种倒置结构有机发光装置及其制作方法，将采用倒置结构有机发光装置采用低功函数、高稳定性硼化物薄膜作为阴极。一种倒置结构有机发光装置的制造方法，包括如下步骤：沉积步骤：将硼化物放置在特定的容器内，加热硼化物，使其蒸发沉积到基板，以上形成一硼化物薄膜；处理步骤：对所述硼化物薄膜进行表面处理；成型步骤：依次在所述硼化物薄膜上形成电子传输和发光层、空穴传输层、空穴注入层和阳极层。

主权项

一种倒置结构有机发光装置的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：沉积步骤：将硼化物放置在特定的容器内，加热硼化物，使其蒸发沉积到基板，以形成一硼化物薄膜，所述硼化物选择采用六硼化镧或硼化铈；处理步骤：对所述硼化物薄膜进行表面处理；成型步骤：依次在所述硼化物薄膜上形成电子传输和发光层、空穴传输层、空穴注入层和阳极层；所述沉积步骤中，采用蒸发电子束轰击加热蒸发硼化物，加热环境的真空度为5×10‑5Pa；所述基板以10转/分钟的旋转速率旋转；所述基板的温度范围是150至400摄氏度；所述硼化物薄膜的沉积速率为1.5至10纳米/分钟。