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发明名称 STRESS-FREE COMPOSITE SUBSTRATE AND METHOD OF MANUFACTURING SUCH A COMPOSITE SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1576662(B1) 申请公布日期 2011.10.26
申请号 EP20030772538 申请日期 2003.11.20
申请人 NXP B.V. 发明人 HAISMA, JAN
分类号 H01L21/762;H01L21/20 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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