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发明名称
摘要
申请公布号 JP4802893(B2) 申请公布日期 2011.10.26
申请号 JP20060181259 申请日期 2006.06.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/31;C23C16/44;C23C16/458;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/324;H01L21/677 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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