一种非制冷红外探测焦平面器件

摘要

一种非制冷红外探测焦平面器件，属于非制冷红外探测技术领域。器件包括衬底结构、支撑结构和桥面结构；桥面结构通过桥腿和桥墩支撑于衬底上，红外吸收层薄膜与反射层之间形成红外谐振腔；热敏感薄膜位于红外谐振腔之外的红外吸收层薄膜的表面。本发明突破现有器件结构的惯有思维，将桥面结构中的红外吸收层薄膜和热敏感层薄膜的位置关系倒置从而将热敏感层薄膜置于红外谐振腔之外的红外吸收层薄膜表面，增强了红外探测焦平面器件的红外吸收率，从而使得非制冷焦平面器件的探测效率得到进一步提升；同时，该器件无需增透膜，从而在一定程度上简化了器件结构并适当降低了器件成本。

主权项

一种非制冷红外探测焦平面器件，包括衬底结构、支撑结构和桥面结构；所述桥面结构包括热敏感层薄膜(4)和红外吸收层薄膜(7)，所述支撑结构包括两个桥腿(5)和两个桥墩(1)，所述衬底结构包括衬底(2)背面的电路结构和衬底(2)正面的反射层(3)；桥面结构通过桥腿(5)和桥墩(1)支撑于衬底(2)上，红外吸收层薄膜(7)与反射层(3)之间形成红外谐振腔(6)；热敏感层薄膜(4)两侧且在热敏感薄膜(4)和红外吸收层薄膜(7)之间具有条状电极，其中一个条状电极通过一个桥腿、桥墩中的电学通道与衬底背面电路结构中的一个端口相连，另一个条状电极通过另一个桥腿、桥墩中的电学通道与衬底背面电路结构中的另一个端口相连；其特征在于，热敏感薄膜(4)位于红外谐振腔(6)之外的红外吸收层薄膜(7)的表面。