静电执行机构

摘要

本发明提供一种静电执行机构，其中在成为对置面(20a)的基材表面形成了多个凸型电极(23a)的固定子(20)和在同样成为对置面(30a)的基材表面形成了多个凸型电极(33a)的可动子(30)被对置配置，并且所述固定子(20)的凸型电极的(23a)侧面和所述可动子(30)的凸型电极(33a)的侧面相对向配置；在所述固定子(20)以及可动子(30)的至少一方的对置面(例如(20a))，在形成了所述凸型电极(23a)的部分之外的部分，形成有和在另一个对置面(30a)形成的所述凸型电极(33a)的端面(33c)相对向的平面电极(23b)。由此有助于小型化或高驱动力化，或驱动电压的低电压化。

主权项

一种静电执行机构，其中在成为对置面的基材表面形成了多个凸型电极的固定子和在同样成为对置面的基材表面形成了多个凸型电极的可动子被对置配置，并且所述固定子的凸型电极的侧面和所述可动子的凸型电极的侧面相对向配置；在所述固定子以及可动子的至少一方的对置面，在形成了所述凸型电极的部分以外的部分，形成有和在另一个对置面形成的所述凸型电极的端面相对向的平面电极，在所述至少一方的对置面形成有多个带状电极，该带状电极沿着与所述可动子移动的移动方向正交的宽度方向延伸，并且沿着所述移动方向排列，所述凸型电极突出形成在所述带状电极的表面，将所述带状电极的一部分用作所述平面电极，所述带状电极形成相电极，在所述至少一方的对置面，在与所述可动子移动的移动方向正交的宽度方向相邻的所述凸型电极和所述平面电极通过所述带状电极直接导通连接而成为相同电位的相电极，相电极沿着移动方向设置多行，在移动方向相邻的相电极彼此之间处于电绝缘的状态。