| 发明名称 | 湿蚀刻溶液 | ||
| 摘要 | 一种湿蚀刻溶液，包含：氟化氢，所述氟化氢的量为所述蚀刻溶液重量的0.1％～10％；氟化铵，所述氟化铵的量为所述蚀刻溶液重量的0.1％～10％；具有至少一个羧基的有机酸，所述有机酸的量为所述蚀刻溶液重量的30％～50％；醇，所述醇的量为所述蚀刻溶液重量的30％～50％；和水，其中所述湿蚀刻溶液表现出1∶1～1∶3的硅氧化物对金属硅化物的选择性比率。 | ||
| 申请公布号 | CN102225874A | 申请公布日期 | 2011.10.26 |
| 申请号 | CN201110150434.6 | 申请日期 | 2007.08.20 |
| 申请人 | 第一毛织株式会社 | 发明人 | 罗贞仁;朴明国;梁浩锡 |
| 分类号 | C04B41/91(2006.01)I;C03C25/68(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | C04B41/91(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 顾晋伟;王春伟 |
| 主权项 | 一种湿蚀刻溶液，包含：氟化氢，所述氟化氢的量为所述蚀刻溶液重量的0.1％～10％；氟化铵，所述氟化铵的量为所述蚀刻溶液重量的0.1％～10％；具有至少一个羧基的有机酸，所述有机酸的量为所述蚀刻溶液重量的30％～50％；醇，所述醇的量为所述蚀刻溶液重量的30％～50％；和水，其中所述湿蚀刻溶液表现出1∶1～1∶3的硅氧化物对金属硅化物的选择性比率。 | ||
| 地址 | 韩国庆尚北道龟尾市 | ||