| 发明名称 | 石英源瓶 | ||
| 摘要 | 一种石英源瓶，包括源瓶本体、进气管和出气管，以及分别设置在进气管和出气管上端口的进气控制阀和出气控制阀，其特征是：所述源瓶本体的底壁呈漏斗状，该源瓶本体的环壁延伸至所述漏斗底壁的最低部位以下而形成一个支撑壁；所述进气管的管身经所述源瓶本体的内腔穿越所述漏斗底壁后，其下端口与所述漏斗底壁的出口相联通。本实施新型将源瓶的底壁设计成漏斗状结构，使氮气由下往上鼓入液体，既加长了气体的工作行程，提高了混合蒸汽浓度均匀性，使上部混合气体更饱和浓度更稳定，又解决了源瓶结束使用后残留液体多的问题，使其不会出现浪费现象。 | ||
| 申请公布号 | CN102227004A | 申请公布日期 | 2011.10.26 |
| 申请号 | CN201110122786.0 | 申请日期 | 2011.05.13 |
| 申请人 | 乐叶光伏股份有限公司 | 发明人 | 焦哲 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 杭州裕阳专利事务所(普通合伙) 33221 | 代理人 | 应圣义 |
| 主权项 | 一种石英源瓶，包括源瓶本体(1)、进气管(2)和出气管(4)，以及分别设置在进气管(2)和出气管(4)上端口的进气控制阀(3)和出气控制阀(31)，其特征是：所述源瓶本体(1)的底壁呈漏斗状，该源瓶本体(1)的环壁延伸至所述漏斗底壁(11)的最低部位以下而形成一个支撑壁；所述进气管(2)的管身经所述源瓶本体(1)的内腔穿越所述漏斗底壁(11)后，其下端口与所述漏斗底壁(11)的出口相联通。 | ||
| 地址 | 324000 浙江省衢州市东港开发区百灵中路2号 | ||