| 发明名称 | 研磨头区域边界平滑化 | ||
| 摘要 | 本发明提供用于基材的化学机械研磨的方法与设备，并且尤其是涉及用于化学机械研磨的承载头的方法与设备。在一实施例中，提供的承载头组件包含：基部组件，设以提供用于基材的支撑；挠性膜，被装设在所述基部组件上且具有大致圆形的中心部分，所述中心部分具有提供基材装设表面的下表面；及多个能独立加压的腔室，其形成在所述基部组件与所述挠性膜之间，所述多个能独立加压的腔室包含环状外腔室及非圆形内腔室。 | ||
| 申请公布号 | CN102227803A | 申请公布日期 | 2011.10.26 |
| 申请号 | CN201080003356.0 | 申请日期 | 2010.04.20 |
| 申请人 | 应用材料股份有限公司 | 发明人 | 陈宏志;塞缪尔·楚-江·许;高塔姆·丹达瓦特;丹尼斯·M·库索 |
| 分类号 | H01L21/304(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/304(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 徐金国;王金宝 |
| 主权项 | 一种能绕着中心线旋转以用于基材的化学机械研磨的承载头组件，该承载头组件包含：基部组件，设以提供用于所述基材的支撑；挠性膜，被装设在所述基部组件上且具有大致圆形的中心部分，所述中心部分具有提供用于基材的装设表面的下表面；及多个能独立加压的腔室，其形成在所述基部组件与所述挠性膜之间，所述多个能独立加压的腔室包含：环状外腔室；及非圆形内腔室。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||