发明名称 |
SYSTEM AND METHOD FOR DEPOSITION OF A MATERIAL ON A SUBSTRATE |
摘要 |
<p>A method and apparatus for improving coating of a substrate.</p> |
申请公布号 |
EP2044238(A4) |
申请公布日期 |
2011.10.26 |
申请号 |
EP20070809148 |
申请日期 |
2007.05.23 |
申请人 |
FIRST SOLAR, INC |
发明人 |
MALTBY, MICHAEL, G. |
分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/54 |
主分类号 |
C23C16/44 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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