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发明名称
摘要
申请公布号	JP4799825(B2)	申请公布日期	2011.10.26
申请号	JP20040058378	申请日期	2004.03.03
申请人		发明人
分类号	H01L21/20;H01L21/268;H01S3/00	主分类号	H01L21/20
代理机构		代理人
主权项
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