发明名称 |
SHEET STORING CARRIER SYSTEM AND RETICLE CASE MAKING USE OF THE SAME |
摘要 |
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申请公布号 |
EP2085325(A4) |
申请公布日期 |
2011.10.26 |
申请号 |
EP20060833288 |
申请日期 |
2006.11.24 |
申请人 |
MIRAIAL CO., LTD. |
发明人 |
IWAKI, TADAO;UMEDA, TOSHIYA |
分类号 |
B65D85/86;B65D77/04;B65D81/20;G03F1/40;G03F1/66;H01L21/027;H01L21/67;H01L21/673 |
主分类号 |
B65D85/86 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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