| 发明名称 | 光电转换装置的制造方法、光电转换装置的制造装置及光电转换装置 | ||
| 摘要 | 提供一种能够将加工槽的槽深度控制成希望值的光电转换装置的制造方法、光电转换装置的制造装置及光电转换装置。一种光电转换装置(10)的制造方法，具有对构成光电转换装置(10)的中间接触层分离槽(15)照射皮秒激光，并使皮秒激光相对于中间接触层分离槽(15)进行相对移动而沿规定的扫描方向形成加工槽(15)的槽形成工序，其中，槽形成工序在与的射束直径相当的照射区域内形成沿一方向并列排列的干涉条纹，并以将干涉条纹沿扫描方向连接的方式使皮秒激光进行相对移动。 | ||
| 申请公布号 | CN102227817A | 申请公布日期 | 2011.10.26 |
| 申请号 | CN200980147736.9 | 申请日期 | 2009.08.25 |
| 申请人 | 三菱重工业株式会社 | 发明人 | 川添浩平;宇田和孝;马场智义;石出孝;中尾祯子 |
| 分类号 | H01L31/04(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 雒运朴 |
| 主权项 | 一种光电转换装置的制造方法，具有对构成光电转换装置的薄膜照射激光，并使该激光相对于该薄膜进行相对移动而沿规定的扫描方向形成加工槽的槽形成工序，其中，所述槽形成工序在与所述激光的射束直径相当的照射区域内形成沿一方向并列排列的干涉条纹，并以将该干涉条纹沿所述扫描方向连接的方式使所述激光进行相对移动。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||