环形低场活性气体和具有绝缘真空容器的等离子体源

摘要

描述了用于等离子体系统的等离子体点火和冷却装置和方法。装置(300)包括容器(390)以及与该容器相邻的至少一个点火电极(330)。该至少一个点火电极的尺寸(D)的总长度大于容器通道长度的10％。该装置可包括绝缘环形容器、具有由装有弹簧的装置压向容器的多个部分的散热片、以及在容器和散热片之间的热界面。方法可包括提供具有流速和压力的气体，并将气体流速的一部分引入容器通道。该气体在通道中点燃，同时流速的剩余部分被引离该通道。

主权项

一种用于电感性耦合等离子处理系统的等离子体点火装置，所述装置包括：限定封闭通道的容器；至少一个电容性耦合的点火电极，与所述容器相邻并与所述通道的相邻部分成一线，所述至少一个电容性耦合的点火电极的尺寸的总长度比所述通道的长度的10％大，其中所述至少一个电容性耦合的点火电极可将电场施加到所述通道中的气体，以启动所述气体的等离子体放电；以及邻近所述容器的参考电极，其中所述至少一个电容性耦合的点火电极和所述参考电极合作以施加电场到气体通道来启动等离子体放电；其中所述参考电极或所述至少一个电容性耦合的点火电极或所述参考电极和所述至少一个电容性耦合的点火电极与所述容器热连通以限制所述容器的温度。