一种制备掺铝氧化锌透明导电薄膜的装置及方法

摘要

本发明公开了一种制备掺铝氧化锌透明导电薄膜的装置及方法，该装置是对现有金属有机化学气相沉积MOCVD设备进行的改进，改进后的MOCVD，具有锌源气路和氧源气路，锌源气路用于提供成膜原料，氧源气路用于提供加工膜时的热的水蒸气。制膜时是以乙酰丙酮锌Zn(C5H7O2)2·H2O和乙酰丙酮铝Al(C5H7O2)3分别为锌源和铝源，以蒸馏水为氧源，氮气为载气，在无需真空设备、大气环境、加工温度170℃～270℃条件下成膜。成膜过程简单，沉积温度低，有利于透明导电薄膜的产业化生产，降低了生产成本。

主权项

一种制备掺铝氧化锌透明导电薄膜的大气开放式MOCVD装置，其特征在于：包括有第一截止气阀(2A)、第二截止气阀(2B)、A管道(21)、B管道(22)、C管道(23)、D管道(24)、E管道(25)、F管道(26)、G管道(27)、氮气瓶(1)、第一流量计(3A)、第二流量计(3B)、分子筛(4)、气化室(5)、第一加热带(6A)、第二加热带(6B)、第三加热带(6C)、第一喷嘴(7A)、第二喷嘴(7B)、基片台(9)、加热器(10)和烧瓶(11)；基片台(9)上放置基片(8)；烧瓶(11)安装在加热器(10)上，加热器(10)能够为烧瓶(11)内放置的蒸馏水提供80℃～100℃的温度环境；第一加热带(6A)缠绕在C管道(23)的外壁和气化室(5)的外壁，第一加热带(6A)能够为C管道(23)和气化室(5)内部的介质提供105℃～115℃的温度环境；第二加热带(6B)缠绕在D管道(24)的外壁，第二加热带(6B)能够为D管道(24)内部的介质提供105℃～150℃的温度环境；第三加热带(6C)缠绕在E管道(25)的外壁，第三加热带(6C)能够为E管道(25)内部的介质提供80℃～100℃的温度环境；氮气瓶(1)、A管道(21)、第一截止气阀(2A)和分子筛(4)构成载气源；A管道(21)连接在氮气瓶(1)的输出口与分子筛(4)的入气口之间，且A管道(21)上安装有第一截止气阀(2A)；B管道(22)、第一流量计(3A)、C管道(23)、第一加热带(6A)、气化室(5)、第二截止气阀(2B)、第二加热带(6B)和D管道(24)构成锌源气路；B管道(22)连接在分子筛(4)的一出气口与第一流量计(3A)的入气口之间，C管道(23)连接在第一流量计(3A)的出气口与气化室(5)的入气口之间，D管道(24)连接在气化室(5)的出气口与第一喷嘴(7A)之间，且D管道(24)上安装有第二截止气阀(2B)；G管道(27)、第二流量计(3B)、F管道(26)、加热器(10)、烧瓶(11)、第三加热带(6C)和E管道(25)构成氧源气路；G管道(27)连接在分子筛(4)的另一出气口与第二流量计(3B)的入气口之间，F管道(26)连接在第二流量计(3B)的出气口与烧瓶(11)的一瓶口之间，E管道(25)连接在烧瓶(11)的另一瓶口与第二喷嘴(7B)之间。