| 发明名称 |
APPARATUS FOR DISPENSING A GAS, METHOD OF REDUCING VENTILATION GAS REQUIREMENTS OF A GAS CABINET, AND METHOD OF OPERATING A GAS CABINET |
| 摘要 |
본 발명에서는 선택적인 흐름 관계에서 가스 매니폴드(126)에 연결된 가스 공급원을 사용하여 가스를 분배하는 장치 및 방법이 개시된다. 가스 사용구역까지 가스를 배출하는 흐름 회로(110)를 포함하는 가스 매니폴드(126) 및 가스 공급원은 초대기압 가스를 함유하는 압력 조절식 가스 공급용기(126)를 포함한다. |
| 申请公布号 |
KR101077364(B1) |
申请公布日期 |
2011.10.26 |
| 申请号 |
KR20107024497 |
申请日期 |
2003.05.29 |
| 申请人 |
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发明人 |
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| 分类号 |
F17C7/00;F17C5/00;H01L21/02 |
主分类号 |
F17C7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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