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发明名称
摘要
申请公布号 JP4800627(B2) 申请公布日期 2011.10.26
申请号 JP20050005341 申请日期 2005.01.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/768;H01L27/105;G11C11/22;H01L21/82;H01L21/8246;H01L27/10;H01L27/108;H01L27/115;H01L29/76 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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