| 发明名称 | 周期表第13族金属氮化物结晶的制造方法以及使用其的半导体器件的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及周期表第13族金属氮化物结晶的制造方法，其中，边进行周期表第13族金属合金相和含有氮化物的熔融盐相的反应，边从反应场中除去含有周期表第13族金属以外的金属元素的副产物，使周期表第13族金属氮化物结晶成长。按照该方法，可以在低压或常压下制造优质的周期表第13族金属氮化物块状结晶。 | ||
| 申请公布号 | CN101010453B | 申请公布日期 | 2011.10.26 |
| 申请号 | CN200580029397.6 | 申请日期 | 2005.07.04 |
| 申请人 | 三菱化学株式会社 | 发明人 | 有田阳二;关义则;田原岳史;佐藤让 |
| 分类号 | C30B29/38(2006.01)I;C30B9/14(2006.01)I;H01L33/00(2006.01)I;H01S5/323(2006.01)I | 主分类号 | C30B29/38(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 张平元;赵仁临 |
| 主权项 | 一种周期表第13族金属氮化物结晶的制造方法，其中，将含有第13族金属元素的液相(A)与液相(b1)、固相(b2)或液相(b3)中的任何一相(B)进行反应，同时从反应场中除去由该反应生成的含有周期表第13族金属以外的金属元素的副产物，使第13族金属氮化物结晶生长，所述含有第13族金属元素的液相(A)是包括第13族金属元素和第13族以外的金属元素的合金液相，所述反应场是液相(A)、和液相(b1)或者固相(b2)或液相(b3)中的任何一相(B)的界面附近，所述液相(b1)是将含有周期表第13族以外的金属元素的氮化物溶解在熔融盐中的液相，所述含有周期表第13族以外的金属元素的氮化物为Li3N、Ca3N2、GaLi3N2、Ca3Ga2N4，所述熔融盐是含有碱金属和/或碱土金属的熔融盐；所述固相(b2)或液相(b3)包含复合氮化物，该复合氮化物含有周期表第13族金属元素和周期表第13族以外的金属元素。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||