| 摘要 |
<p>기판을 탑재하는 암부(6)를 지지함과 아울러 지주(9) 외면에 설치된 직선형의 개구부(12)를 통해 상기 지주(9) 내에 설치된 안내 기구(22)에 접속되고, 상기 안내 기구(22)에 따라 상기 개구부(12)의 통로를 이동하는 지지 부재(4)와, 상기 개구부(12)를 봉하고, 상기 지주(9) 내부와 외부를 격리하는 씰 벨트(5)를 구비하고, 상기 안내 기구(22)에 의해 상기 지지 부재(4)가 이동하여도 상기 씰 벨트(5)에 의해 상기 지주(9)의 내부가 외부에 노출하지 않게 구성되고, 상기 씰 벨트(5)가 그 양단을 상기 지주(9) 내부에 고정시킴과 아울러 상기 지지 부재(4)에 회전 가능하게 지지된 롤러(35∼42)에 장착되고, 상기 개구부(12)를 봉하도록 인장되어 걸린 것이다.</p> |
