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发明名称 LIQUID TREATING UNIT AND APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATE WITH THE SAME
摘要
申请公布号 KR101075783(B1) 申请公布日期 2011.10.24
申请号 KR20100061137 申请日期 2010.06.28
申请人 SAMSUNG ELECTRO-MECHANICS CO., LTD. 发明人 PARK, WOO CHUL;NA, DONG HO;CHAE, SUNG BYUNG
分类号 H05K3/06;C25D5/34;G03F7/20 主分类号 H05K3/06
代理机构 代理人
主权项
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